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3参数
类别
规范
含量(TMAH),%
2.38±0.01
色度Hazen,max
10
过滤器
经0.1μm滤器过滤
杂质最高含,ppb
---
钠(Na)
钾(K)
镁(Mg)
钙(Ca)
铁(Fe)
镍(Ni)
铜(Cu)
铅(Pb)
锰(Mn)
锌(Zn)
铬(Cr)
银(Ag)
颗粒,(个/ml)
≥0.5μm,x
50